分子泵維修的操作要求：

　　1、分子泵的氣路接口的快接法蘭的螺桿應朝上，以防松弛造成漏氣;

　　2、不能在大氣狀態(tài)下開分子泵，必須在達到10Pa時才能打開其相應的高閥，開啟分子泵;

　　3、當M2(箱體2)或M7的真空度始終抽不到位時，應檢查旋片泵的電磁閥工作是否正常;

　　4、在開分子泵前必須打開冷卻水閥;在分子泵的葉輪停止運轉(zhuǎn)后，必須關閉冷卻水閥;

　　5、每次停機后，務必清潔各分子泵的進氣口處，使其保持干凈，以避免不必要的損壞;

　　6、當出現(xiàn)報警信息“EF”時，應檢查冷卻水路是否通暢，可用器槍檢查。確保水路順暢后，方可再次打開分子泵。而當出現(xiàn)其他報警信號時，嚴禁再次啟動分子泵，待后處理;

　　7、在分子泵出現(xiàn)問題而不能使用時，應暫停生產(chǎn)，手動充大氣后，更換備用的分子泵;

　　8、當始終達不到分子泵啟動條件時,應檢查前級泵和電磁閥工作是否正常;

　　9、當分子泵出現(xiàn)故障時,須根據(jù)故障提示作相應處理。

　　這種分子泵維修具體可分為：

　　1)牽引分子泵 氣體分子與高速運動的轉(zhuǎn)子相碰撞而獲得動量，被驅(qū)送到泵的出口。

　　2)渦輪分子泵 靠高速旋轉(zhuǎn)的動葉片和靜止的定葉片相互配合來實現(xiàn)抽氣的。這種泵通常在分子流狀態(tài)下工作。

　　3)復合分子泵 它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯(lián)組合起來的一種復合型的分子真空泵。